Vereinbarung zur EUV-Reflektometrie zwischen PTB und ZEISS bis Ende 2029 verlängert

Zusammenarbeit stärkt das europäische Technologienetzwerk

Das Labor der PTB für Metrologie mit Synchrotronstrahlung in Berlin-Adlershof ist ein wichtiger Knoten im Netz der europäischen Forschungsinfrastruktur, das die Monopolstellung der europäischen Industrie bei der EUV-Lithographie als einer Schlüsseltechnologie für die moderne Halbleiterfertigung mit ermöglicht hat.

Für die PTB bildet die seit 1998 bestehende enge Zusammenarbeit mit ZEISS eine wichtige Grundlage für die kontinuierliche Weiterentwicklung ihrer messtechnischen Fähigkeiten im EUV-Spektralbereich, die damit wiederum das europäische Technologienetzwerk stärkt. Auf Basis der Nutzung von Synchrotronstrahlung zur Radiometrie, Reflektometrie und Scatterometrie sowie Kombinationen dieser und weiterer analytischer Verfahren zu Hybridmethoden, entwickelt die PTB neue messtechnische Lösungen z. B. für die Halbleitertechnik und stellt ihre Messdienstleistungen ihren zahlreichen Kooperationspartnern aus Forschungsinstituten oder der Industrie zur Verfügung.

Mit der Unterzeichnung des nunmehr 10. Nachtrags zu der ursprünglichen Vereinbarung wurde jetzt die Zusammenarbeit mit ZEISS bis Ende 2029 verlängert. In den Zeitraum der Vertragsverlängerung fällt die Inbetriebnahme einer neuen Strahlführung im PTB-Laboratorium an der MLS zur Erhöhung Messkapazitäten. Im Labor bei BESSY II soll die Instrumentierung auch im Bereich kürzerer Wellenlängen modernisiert werden. Davon wird die Entwicklung neuartiger Messverfahren (basierend auf gut etablierten Messtechniken) für die Untersuchung strukturierter Oberflächen profitieren. Die gegenüber dem sichtbaren Licht kürzere Wellenlänge im EUV Spektralbereich eröffnet neue Möglichkeiten zur Vermessung von Nanostrukturen auf Halbleitermaterialien.

Diese metrologische Methodenentwicklung ist für die europäischen Hersteller von Ausrüstung für Halbleiterindustrie von großem Interesse, da etablierten Messverfahren im klassischen optischen Spektralbereich an die Grenze ihrer Nachweismöglichkeiten stoßen. Die Übertragung des technologischen Know-How im Bereich des EUV von der Lithographie in die Metrologie ist somit eine große Chance für diese Firmen.

Metrologie mit Synchrotronstrahlung - PTB.de

Ansprechpartner:

Michael Kolbe
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Fachbereich 7.1: Radiometrie mit Synchrotronstrahlung
Arbeitsgruppe: EUV-Radiometrie
michael.kolbe(at)ptb.de
www.ptb.de

Pressemitteilung PTB vom 17.03.2025