Rein, reiner, Adlershof
Einige der modernsten Reinräume der Region im Zentrum für Mikrosysteme und Materialien
Damit elektronische Schaltkreise und Systeme zuverlässig funktionieren, ist bei ihrer Fertigung größte Sauberkeit Pflicht. Sie werden in speziellen Reinräumen hergestellt, die nur durch eine Schleuse zu betreten sind. Die Luft im Raum ist gefiltert, die Mitarbeiter tragen Ganzkörperschutzkleidung. „Wir bewegen uns mit der Fertigung von elektronischen Bauteilen und Systemen inzwischen im Mikro- und Nanometerbereich“, erläutert Klaus-Dieter Lang, Leiter des Fraunhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM. „Da kann jeder Staubpartikel einen enormen Einfluss auf die Funktionalität und die Fertigungsausbeute nehmen.“ Fremdpartikel können Strukturfehler verursachen – oder auch elektrische Fehlfunktionen in den Schaltkreisen: „Bei den geringen Abmessungen kann schon ein Staubkorn zu Leiterzugunterbrechungen führen und damit den Ausfall des gesamten Systems verursachen.“
In den Reinräumen des IZM entsteht derzeit eine Kamera für den Einsatz in der Medizin, die nur einen Millimeter groß ist. Das Besondere: Die gesamte Kamera wird im Reinraum hergestellt. Der Fraunhofer IZM-Chef beobachtet diese Entwicklung in der gesamten Mikrosystemtechnik: „Es werden zunehmend nicht mehr nur einzelne Komponenten, sondern ganze multifunktionale Systeme in Reinräumen gefertigt“, so Lang.
Diese Möglichkeit bietet in Adlershof das Zentrum für Mikrosysteme und Materialien (ZMM). Es verfügt über zwölf der modernsten Reinräume, die derzeit in Berlin-Brandenburg angemietet werden können. Hier könnten Sensoren hergestellt werden, auch eine Fertigung von Bauteilen für die Optik- und Lasertechnologie ist denkbar.
ISO-Klasse 8
Die Reinräume der ISO-Klasse 8 liegen nebeneinander in einer Halle und variieren in der Größe zwischen 32 und 65 Quadratmeter. Ein umlaufender Flur führt zu den einzelnen Modulen. Umkleideräume und die Schleuse sind an einem zentralen Eingang platziert, durch die sämtliche Mitarbeiter den Reinraumbereich betreten. „Bestimmte Bereiche sind über eine zweite Schleuse getrennt“, erklärt der Leiter des ZMM, Jörg Israel. „Sie könnten mit zusätzlichen Filtern auf ISO-Klasse 6 aufgerüstet werden.“ Zwischen den einzelnen Modulen, in sogenannten „Grauräumen“, wie die nicht dem Reinheitsstandard unterliegenden Bereiche bezeichnet werden, könnten zusätzliche Maschinen installiert und aus dem Reinraum heraus bedient werden. „Hier gibt es drei Meter zusätzlichen Platz für Geräte, die man nicht im Reinraum selbst haben will. Etwa, weil sie nicht den Erfordernissen des Reinraums entsprechen“, so Israel.
Adlershof ist gut aufgestellt für die zunehmende Nutzung von Reinräumen. Die Investitions- wie auch die Betriebskosten vieler Produktionsprozesse würde dies erheblich senken.
Von Mirko Heinemann für Adlershof Special
Mehr zum Zentrum für Mikrosysteme und Materialien