Instrumente für den Mikro-Kosmos
Lange Gräben ziehen sich bis zum Horizont, im Schachbrettmuster reihen sich sanfte Hügel aneinander, aber auch senkrechte Schächte, durch die man in schwindelerregende Tiefen hinabstürzen könnte. Die bizarren Landschaften, mit denen sich die Entwickler der Sentech Instruments GmbH in Adlershof beschäftigen, wird allerdings kein Mensch je betreten.
Sie sind nur wenige Mikrometer groß, dienen als Lichtleiter oder winzige Linsen, als elektronische Transistoren oder Komponenten von Mikro-Maschinen. „Wir liefern dabei nicht nur die Instrumente, um diese Strukturen herstellen zu können“, sagt Dr. Albrecht Krüger, einer der beiden Firmengründer. „Für die Forschung, aber auch zur Überwachung der Serienproduktion etwa von Solarzellen und elektronischen Bauelementen fertigen wir auch die entsprechenden Messgeräte.“
Um feine Strukturen im Mikro- und Sub-Mikrometer-Bereich herzustellen, nutzen die Experten bei Sentech das „reaktive Ionenätzen“. Dabei wird eine Probe mit einem Strahl aus geladenen Gasatomen beschossen. Der Beschuss schwächt die chemischen Bindungen der Atome an der Oberfläche. Erst dadurch können sie mit den Gasatomen reagieren und werden so abgetragen. „Mit Hilfe spezieller Ionen-Quellen können wir einen sehr sanften, aber dichten Gasstrahl erzeugen“, sagt Albrecht Krüger. „Auf diese Weise lassen sich auch kleinste Strukturen sauber herstellen.“ Um die Eigenschaften solch winziger Formen näher zu untersuchen, wird häufig polarisiertes Licht verwendet. Dieses Licht, das in einer genau definierten Richtung schwingt, trifft auf die Probe, wobei sich die Schwingungsrichtung je nach der Beschaffenheit der Oberfläche ändert. Misst man diese Änderung bei dem von der Probe reflektierten Licht, kann man Aussagen über deren Struktur machen.
„Bei Proben, die Licht gut reflektieren, ist das kein Problem“, erklärt Krüger. Doch Solarzellen zum Beispiel sollen ja gerade möglichst viel Sonnenlicht aufnehmen und nur wenig zurückstreuen. Mit aufwändiger Messtechnik und komplexen mathematischen Methoden zur Analyse der Daten ist es Sentech gelungen, hier ein konkurrenzlos präzises Verfahren zu entwickeln. „Wir verkaufen jährlich mehr als 50 dieser Geräte, und bei praktisch jedem Hersteller von Silizium-Solarzellen steht ein Messgerät von uns“, berichtet Krüger.
Dass sich die Arbeit gelohnt hat, macht der in den letzten beiden Jahren um die Hälfte gestiegene Umsatz deutlich. Und nicht zuletzt der Umzug in ein dreistöckiges Produktions- und Bürogebäude mit 2.600 Quadratmetern, nur einen Steinwurf von den derzeitigen Mieträumen im Zentrum für Photonik und Optik in Adlershof entfernt. Der erste eigene Firmensitz für das 1990 gegründete Unternehmen.
Wolfgang Richter
Link: www.sentech.de